电涡流传感器通过电涡流效应原理，准确测量被测体与探头端面的相对位置，其特点是长期工作可靠性好、灵敏度高、抗干扰能力强、非接触测量、响应速度快、不受油水等介质的影响，常被用于对大型旋转机械的轴位移、轴振动、轴转速等参数进行长期实时监测，可以分析出设备的工作状况和故障原因，有效地对设备进行保护及预维修。
1、常见故障：（1）电涡流探头损坏。（2）探头导线与延伸电缆的连接头松动。（3）延伸电缆与前置器的连接处松动。（4）前置器、延伸电缆故障。（5）延伸电缆接地。（6）探头导线与延伸电缆的连接头绝缘不好而接地。
2、处理方法：（1）更换电涡流探头。（2）紧固探头导线与延伸电缆的连接头。（3）紧固延伸电缆与前置器的连接螺丝。（4）更换前置器、延伸电缆。（5）更换延伸电缆或将其破损接地部分用绝缘带包好。（6）将探头导线与延伸电缆的连接头用热缩管包裹好。
3、对常见故障处理方法的几点建议：（1）更换电涡流探头时应注意避免碰伤探头，不可将连接导线多次缠绕。（2）探头导线与延伸电缆的连接处为带有锁紧功能的锁头，在紧固时应避免用力过猛，以免损坏锁头。（3）紧固延伸电缆与前置器的连接螺丝不可用力过大，以免造成螺丝滑丝。（4）更换后的前置器应与探头、延伸电缆型号一致，应将前置器放在铸铝的盒子内，避免有其他干扰信号影响测量精度。（5）更换延伸电缆时应注意电缆的盘管直径不应太小，以免造成对电缆的损伤。电涡流传感器一般规定盘管直径不得小于55mm。（6）在处理探头导线与延伸电缆的连接头时应用热缩管包裹，不要用电工胶带，这样油雾会溶解胶带上的沾性物而污染接头。在需打开探头导线与延伸电缆的连接头时，用刀片在接头金属处划开一小口即可，在此过程中当心将电缆划伤。